近年来，我国产业升级加速，半导体行业、离子注入、真空镀膜及空间模拟等设备对低温泵的需求日益增加。为打破国外企业对低温泵市场及技术的长期垄断，鹏力超低温聚集力量、重点攻关，于近日成功研发多口径低温泵产品。

自主可控，实现国产化

低温泵是一种利用低温冷凝、低温吸附方式获得真空环境的容积式真空泵，主要由氦气压缩机、GM制冷机及泵头组成。借助GM制冷机研发生产平台，鹏力超低温为各口径低温泵配备了具有完全自主知识产权的制冷机，实现了整套低温泵设备的完全国产化。

产品多样，差异化定制

针对不同行业的性能需求差异，鹏力超低温研发了8寸、12寸、16寸三种口径的低温泵，其氩气、氢气抽速及容积、极限真空、渡越容积等性能指标均达到国外产品同等水平。通过采用变频降温技术，可大幅度缩短低温泵降温及再生过程所需的时间。以8寸口径低温泵为例，它与压缩机一拖三连接时，完全再生流程时间为100分钟，与国外尖端产品比肩。所有型号低温泵产品均配置手操器，提供远程操控的上位机接口及软件，可通过中继控制器对多台低温泵、压缩机进行监控。

未来，鹏力超低温将对低温泵产品进行持续升级，不断提升设备稳定性，并最终通过产品的规模化量产，为我国真空行业发展贡献力量！